隨著(zhù)科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展,材料研究變得越來(lái)越重要。材料的性質(zhì)和組成對于各種應用具有至關(guān)重要的作用。為了獲得更好的材料,一些高級設備被發(fā)明出來(lái),其中真空旋轉蒸發(fā)儀是一種非常有效的工具。
真空旋轉蒸發(fā)儀是一種通過(guò)真空技術(shù),將一個(gè)固體物質(zhì)轉化為氣體,并將這種氣體沉積在另一個(gè)物體上的方法。在真空室中,被蒸發(fā)物質(zhì)被加熱至其沸點(diǎn),生成的蒸汽旋轉并沉積在樣品表面上,這樣形成的薄膜非常均勻。這種方法的優(yōu)點(diǎn)是其具有非常高的控制性、均勻性和可重復性。
真空旋轉蒸發(fā)儀廣泛應用于材料科學(xué)中,用于制備各種具有重要性質(zhì)的材料,例如:光學(xué)元件、新型半導體、化學(xué)氣敏元器件、涂層和薄膜。其中,它在制備薄膜方面非常有用。薄膜可以在電學(xué)、光學(xué)、磁學(xué)和機械方面具有重要應用。通過(guò)控制真空旋轉蒸發(fā)儀中加熱源的溫度、蒸發(fā)源的形狀、化學(xué)反應等因素,可以制備出各種薄膜。
在半導體制造過(guò)程中,真空旋轉蒸發(fā)儀也被廣泛應用。在半導體晶體管制造過(guò)程中,需要制備各種接觸電*。因此,通過(guò)真空旋轉蒸發(fā)儀制備電*材料非常有價(jià)值。在制備電*時(shí),可以通過(guò)控制各種參數,例如旋轉速度、蒸發(fā)溫度等,來(lái)控制材料厚度和結晶度,從而使電*附著(zhù)在半導體表面的適當位置。